Nachrichten — EFEM Systems

Nachrichten

How Do We Improve Uptime in a Faulting Wafer Handling Robot?

Wie verbessern wir die Verfügbarkeit eines stör...

Wiederkehrende Störungen bei Wafer-Handling-Robotern können eine gesamte Halbleiterproduktionssequenz beeinträchtigen. Um die Betriebszeit zu erhöhen, müssen Ingenieure mechanische, sensorbezogene, vakuumtechnische, kommunikative und EFEM-bezogene Probleme mithilfe strukturierter Diagnosen und vorbeugender Wartung zurückverfolgen.

Wie verbessern wir die Verfügbarkeit eines stör...

Wiederkehrende Störungen bei Wafer-Handling-Robotern können eine gesamte Halbleiterproduktionssequenz beeinträchtigen. Um die Betriebszeit zu erhöhen, müssen Ingenieure mechanische, sensorbezogene, vakuumtechnische, kommunikative und EFEM-bezogene Probleme mithilfe strukturierter Diagnosen und vorbeugender Wartung zurückverfolgen.

Mehr lesen