Yokogawa ProSafe-RS yuqori darajadagi yaxlitlikka ega jarayonlarni himoyalash uchun maxsus ishlab chiqilgan xavfsizlik asboblar tizimi (SIS) hisoblanadi. Arxitektura SIL3 sertifikatiga ega zaxiralangan dizaynga asoslangan bo‘lib, unda maxsus xavfsizlik boshqaruv bloklari (SCP461) va xavfsizlik I/O modullari (SDV144) mavjud. Texnik xususiyatlari qatoriga CENTUM VP bilan uzluksiz integratsiya uchun Vnet/IP’dan foydalanish, o‘z-o‘zini diagnostika qilish sxemasi hamda xavfsizlik kommunikatsiyasi uchun SNT10 tarmoq modullari kiradi. Funksional jihatdan ProSafe-RS favqulodda o‘chirish (ESD) va yong‘in hamda gaz (F&G) mantiqini boshqarib, xavfli jarayon sharoitlarining xavfsiz tarzda bartaraf etilishini ta’minlaydi. Uning DCS bilan xalaqit bermaydigan aloqasi yagona boshqaruv muhitini yaratadi va shu bilan birga xalqaro xavfsizlik standartlari talab qiladigan qat’iy mustaqillikni saqlab qoladi.