قد تؤدي أعطال روبوت مناولة الرقائق المتكررة إلى تعطيل تسلسل إنتاج أشباه الموصلات بالكامل. ويتطلب تحسين وقت التشغيل تتبّع المهندسين للمشكلات الميكانيكية ومشكلات الاستشعار والتفريغ والاتصالات والمشكلات المتعلقة بوحدة EFEM...